不锈钢半导体晶圆真空吸盘座

【零件介绍】本产品为不锈钢半导体晶圆真空吸盘座，采用优质304不锈钢整料经CNC车铣复合精密加工而成，表面经精铣拉丝处理，呈均匀银灰色纹理，光洁无毛刺，超声波清洗洁净交付，满足半导体设备对真空吸附件的洁净度与精度严格要求。

图中所示为同款零件正反两面：正面为凸起圆形吸附工作面，面上加工有精密螺旋形吸气槽，槽形均匀连续，螺旋线间距一致，吸气槽连通中心气孔，通过负压将晶圆均匀吸附固定，防止晶圆在加工或传输过程中位移；背面为平面基准面，中心圆形台阶沉腔与正面工作面对应；矩形主体板面两侧各铣有4个腰形通槽（共8个），均匀对称分布，用于安装调节固定至设备工作台，腰槽设计便于位置微调。整体平面度及螺旋槽深度一致性严格管控。广泛应用于半导体晶圆CMP抛光设备吸盘座、光刻机晶圆真空吸附台、干法刻蚀设备晶圆固定座及晶圆检测设备真空吸附平台场景。支持按图纸定制吸盘直径、螺旋槽规格及腰槽布局，1件起做。

【加工方案】图纸审核 → 备料（304不锈钢板）→ CNC铣削矩形外形 → 精铣矩形板两面 → 车削正面圆形凸台 → 精铣螺旋吸气槽 → 钻削中心气孔 → 铣削腰形通槽 → 去毛刺 → 超声波清洗 → 三坐标检测 → 出货

矩形外形经CNC铣削成形；正面圆形凸台经车削精加工，保证圆度及凸台高度一致性；螺旋吸气槽采用CNC螺旋铣削路径精加工，槽深及间距由程序精确控制，保证各圈槽深一致性≤0.01mm；中心气孔精钻保证与螺旋槽连通顺畅；腰形通槽经立铣精加工，两侧腰槽对称度严格管控；加工完成后超声波清洗去除切削油污及金属微粒；出货前三坐标全检凸台圆度、螺旋槽深度一致性及腰槽对称度。

【加工能力】

加工设备：CNC加工（3轴/4轴/5轴）、车铣复合、数控车、车床、走心机、磨床、线切割（慢丝/中丝/快丝）、电火花、激光切割折弯、焊接、3D打印设备、龙门加工中心等

加工材料： · 铝合金：6061/6063/7075/2A12/LY12等 · 不锈钢：303/304/310/310L/316/316L/45钢/40Cr/Q235等 · 非金属：ABS/尼龙/POM/PVC/PPS/PEEK/电木/铁氟龙/PTFE/亚克力/PC等 · 其他：黄铜、紫铜、钨铜、钛合金、镁合金、镍合金、哈氏合金、钨钢、陶瓷、玻璃等

表面处理：阳极氧化、电镀、拉丝、发黑、丝印、镭射、喷涂、喷砂、抛光、等离子表面处理

加工精度：常规精度±0.01mm，高精度可达±0.005mm

交货周期：标准件5-10个工作日，加急件最快3天发货

【如何下单】

第一步 · 发送图纸 支持 STEP / DWG / SolidWorks / IGES 等格式，发送至微信或邮箱均可，图纸严格保密处理。

第二步 · 说明需求 注明加工数量、材质要求、表面处理要求及精度要求。

第三步 · 工程师评审 免费审图，工程师评估加工方案与可行性，24小时内出具报价单，并提供工艺优化建议。

第四步 · 确认下单 确认报价与方案后安排生产，标准件5-10个工作日交付，加急件最快3天发货，提供物流跟踪。

【常见问题】

Q：最小起订量是多少？1件也可以加工吗？ A：支持1件起做。我们专注小批量非标精密零件加工，高度柔性生产，单件打样、小批量、批量均可承接，不设最低起订量限制。

Q：没有图纸，只有样件，可以加工吗？ A：可以。提供来样测绘服务，工程师对样件进行测绘出具图纸后再加工，全程无需客户自行提供图纸。

Q：加工精度最高能达到多少？ A：常规精度±0.01mm，高精度需求可达±0.005mm。具体取决于零件结构与材质，工程师审图后会给出可实现的精度范围建议。

Q：交货周期一般多久？可以加急吗？ A：标准件5-10个工作日，结构简单的零件最快3天可发货。支持加急服务，加急件优先排产，具体排期以工程师确认为准。

Q：报价需要多久？ A：24小时内出价格，免费审图，无需等待。

Q：图纸发过去，信息安全有保障吗？ A：可签署保密协议（NDA），图纸仅用于报价与生产，不对外泄露。如需要可在下单前先签署保密协议。

Q：质量有问题怎么办？ A：质量问题免费返修/重做，自有工厂生产，无中间差价，品质全程把控。

Q：支持哪些加工工艺？ A：工艺齐全，支持CNC机加、车铣磨、钣金、3D打印（FDM/SLA/SLS）、激光切割、焊接、非标机械设计等全线工艺。